Plasma Grenzflächen Physik
Die Wechselwirkung eines Plasmas mit der umgebenden Oberfläche wird vielfach ausgenutzt, um dünne Filme herzustellen oder Werkstücke in ihren Oberflächeneigenschaften zu modifizieren. Gerade dies ermöglicht eine Reihe von einzigartigen Anwendungen. So sind moderne integrierte Schaltkreise oder neuere Dieseleinspritzpumpen ohne moderne Plasmaverfahren nicht realisierbar.
Scheinvoraussetzungen
Mündliche Prüfung oder Seminarvortrag
Inhalt
- Einführung
- Oberflächen
2.1 Grundbegriffe
2.2 Thermodynamik von Oberflächen
2.3 Struktur von Oberflächen
2.4 Elektronische Struktur von Oberflächen - Teilchenflüsse auf Oberflähen
3.1 Ionen
3.2 Neutralteilchen - Neutralteilchen-Festkörper Wechselwirkung
4.1 Adsorption
4.2 Oberflächen-Prozesse
4.3 Oberflächenrauhigkeit - Ionen-Festkörper Wechselwirkung
5.1 Neutralisation
5.2 Wechselwirkungspotentiale
5.3 Das Streuproblem
5.4 Energieverlust
5.5 Zerstäubung - Messmethoden Grenzflächenflüsse
6.1 Messung von Ionen
6.2 Messung von Neutralen - Messmethoden der Oberflächenphysik
7.1 Messmethoden im Ultra-Hoch-Vakuum (UHV) - Messmethoden Optische Eigenschaften
- Messmethoden Mechanische Eigenschaften
- Messmethoden Eigenschaften Grenzfläche
Literature
- Introduction to Plasma physics and controlled fusion. F. Chen
- Ion Solid Interactions, Nastasi, Mayer, Hirvonen
- Physics at Surfaces, A. Zangwill
- Fractal Concepts in Surface Growth, Barabasi, Stanley
- Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, M. Lieberman, A. Lichtenberg
- Industrial Plasma Engineering, Reece Roth
- Physical Chemistry, Atkins