Chair for Experimental Physics II - Reactive Plasmas

Plasma Grenzflächen Physik

Die Wechselwirkung eines Plasmas mit der umgebenden Oberfläche wird vielfach ausgenutzt, um dünne Filme herzustellen oder Werkstücke in ihren Oberflächeneigenschaften zu modifizieren. Gerade dies ermöglicht eine Reihe von einzigartigen Anwendungen. So sind moderne integrierte Schaltkreise oder neuere Dieseleinspritzpumpen ohne moderne Plasmaverfahren nicht realisierbar.

Link zum Moodlekurs

Scheinvoraussetzungen

Mündliche Prüfung oder Seminarvortrag

   

Skript

Ein Skript wird während der Vorlesung entstehen.

Skript (5.5 MB)

   

Inhalt

 

  1. Einführung
  2. Oberflächen
    2.1 Grundbegriffe
    2.2 Thermodynamik von Oberflächen
    2.3 Struktur von Oberflächen
    2.4 Elektronische Struktur von Oberflächen
  3. Teilchenflüsse auf Oberflähen
    3.1 Ionen
    3.2 Neutralteilchen
  4. Neutralteilchen-Festkörper Wechselwirkung
    4.1 Adsorption
    4.2 Oberflächen-Prozesse
    4.3 Oberflächenrauhigkeit
  5. Ionen-Festkörper Wechselwirkung
    5.1 Neutralisation
    5.2 Wechselwirkungspotentiale
    5.3 Das Streuproblem
    5.4 Energieverlust
    5.5 Zerstäubung
  6. Messmethoden Grenzflächenflüsse
    6.1 Messung von Ionen
    6.2 Messung von Neutralen
  7. Messmethoden der Oberflächenphysik
    7.1 Messmethoden im Ultra-Hoch-Vakuum (UHV)
  8. Messmethoden Optische Eigenschaften
  9. Messmethoden Mechanische Eigenschaften
  10. Messmethoden Eigenschaften Grenzfläche
     

Literature

  • Introduction to Plasma physics and controlled fusion. F. Chen
  • Ion Solid Interactions, Nastasi, Mayer, Hirvonen
  • Physics at Surfaces, A. Zangwill
  • Fractal Concepts in Surface Growth, Barabasi, Stanley
  • Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, M. Lieberman, A. Lichtenberg
  • Industrial Plasma Engineering, Reece Roth
  • Physical Chemistry, Atkins
   

Links