Aus der Forschung

Kontrolle der Permeation von Nanokompositmaterialien

Entwicklung von Barriere-/Membranschichten aus Siliziumoxiden mit überlegenen mechanischen Eigenschaften (Eigenspannung, Porosität, Rauheit, Härte), spezifischer Materialzusammensetzung (untersucht über FTIR, XPS) und ausgezeichneter Duktilität (durch Einbettung von Silizium-Nanopartikeln in die SiOx-Matrix).

Ziel ist es, den Parameterraum für die Herstellung von Nanokomposit-Schichten systematisch als Gleichgewicht zwischen Nanopartikel-Konzentration, Matrix-Schichtmaterial (SiOx, SiOCH, a-C:H, a-Si:H) und Schichtdicke. Es wird erwartet, dass eine niedrige Dichte von Nanopartikeln zu einer Reduzierung der Spannung in diesen Schichten führt.